JIS B0652-1973 Instruments for the Measurement of Surface Roughness by the Interferometric Method
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ID： |
3C179250768D4C189955BF4F16910D4B |
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文件大小(MB)： |
0.34 |
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页数： |
4 |
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文件格式： |
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日期： |
2024-6-24 |
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购买： |
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日本工業規格JIS,B 06521973,光波干渉式表面粗さ測定器,Instruments for the Measurement of Surface Roughness,by the Interferometric Method,i,適用範囲 この規格は,標準反射面と被測定面とによって生ずる光波干渉しまを顕微鏡によって拡大,し,表面あらさを測定する光波干渉式表面あらさ測定器(以下,測定器という。)について規定する,引用規格:,JIS B 7113 写真用ガラスフィルタ(シャープカット),JIS B 7141顕微鏡対物ねじ,JIS B 7142顕微鏡対物レンズおよび鏡筒ねじ部,JIS B 7143顕微鏡接眼レンズおよび接眼スリーブのはめあい部,JIS B 7430 オプチカルフラット,2 .構造および機龍 測定器の構造および機能は,つぎによる,(1)測定器は,一般に光源,干渉装置,顕微鏡,写真撮影装置などからなる,(2)光源は,単色光源,白色光源およびこれらにフィルタを併用したものとする,(3)干渉装置は,図1.3に示すような二光線干渉方式と繰り返し干渉方式とし,いずれも干渉しまの位置,間隔および方向を自由に調節できる構造と機能を備えていなければならない,図1 図2 図3,「y-- ヽー 対物レンズ,.?対物上N叉,/ .,二光線?干渉方式二光線干港方式繰返し于渉方式,(4)測定器は,振動に対して敏感でない構造とする,(5)測定器には,被測定面上において直径0.5mm以上のものが測定できる対物レンズおよび接眼レンズの,組合せを含まなければならない,(6)測定器の対物レンズおよび接眼レンズは,それぞれ,2,B 0652-1973,JIS B 7141顕微鏡対物ねじ,JIS B 7142顕微鏡対物レンズおよび鏡筒ねじ部,JIS B 7143 顕微鏡接眼レンズおよび接眼スリーブのはめあい部,の規定に適合しなければならない,3 .性能 測定器の性能は,つぎのとおりとする,(1)測定器の光学部品は,測定にさしつかえのある収差その他の欠点があってはならない,なお,光学部品,鏡筒の內面反射などによる有害なフレアがあってはならない,(2)測定器に使用するフイルタのうち,色ガラスフィルタの材料，外観および性能は,JIS B 7113〔写真,用ガラスフィルタ(シャープカット)〕の9.の規定に適合したものとする,干渉フィルタは，呼び主波長と実際の主波長との差が±5%以下とする,(3)測定器でJISB7430に規定された2級のオプチカルフラットを被測定面とした場合に,干渉しまのひ,ずみは，視野の中でしま間隔のリio以下でなければならない,(4)顕微鏡の総合倍率の許容範囲は,呼び倍率に対して±10%とする,4.検査測定器の検査は，つぎの項目(番号1.4)について行ない，それぞれの規定に適合しなければ,ならない,番号項目測定方法図測定用具許容値,1 実視野直径被測定面の位置に金属対物ミクロメ,ータを置いて,接眼視野内の目盛数を,読み,つぎの式により実視野直径を求,める,実視野直径=(接眼視野内の目盛数),X (冃量),z^\,金属対物ミ,クロメータ,0.5mm,以上,（川1,行,…籁微緣,-￠1…,川,厳應辺邀,一出.等Zミラ白メ 7,1---- 1—'—i,2 干渉フィル,夕の主波長,の差,分光光度計によってフィルタの分光,エネルギー分布を測定し,つぎの式に,より主波長の差を求める,之波長の差=绰ス><100,册,ここにんJ:明示されている,波長,九:測定した波長,1 搴,为 嫂髪,分光光度計±5%,3,B 0652-1973,番号項目測定方法図測定用具許容値,3 光学系のひ,ずみ,被測定面の位置にオプチカルフラッ,卜を置き,干渉しまを出し,つぎの式,によりひずみを求める,ひずみ=2,a,ここにa:干渉しまの間隔,み:曲り量,[,*,x?勺j,\.atx,オプチカル,フラット,測微接眼レ,ンズ,1/10以下,4 顕微鏡の総,合倍率,対物レンズ,接眼レンズそれぞれの倍,率を測定して,その積で表わす,対物レンズの倍率（峪）の測定,被測定面の位置に金属対物ミ,クロメータを置いて,その拡大像,の大きさを測微接眼レンズで測,定する,弧得,ここにん:対物ミクロ メー,タの目盛の長さ,ム:んに相当する拡,夫像の長さ,接眼レンズの倍率（%）の測定,オプチカルベンチのレンズ架,台上に,たとえば焦点板を置き,顕微鏡をのぞきながら架台を回,転し,焦点板の像が移動しない位,置（回転中心）を求め,この時の,顕微鏡の位置をスケールで読む,（ム）°,っぎに接眼レンズをレンズ架,台上に置き,ジーメンスターを光,路に入れ,顕微鏡でのぞきなが,ら,上と同じように架台を回転し,ても像の移動しない位置を求め,（主面を回転中心に置く。）その,時の顕微鏡の位置をスケールで,読む（ム）,接眼レンズの焦点距離,/=ムーム（mm）,倍率,“ _250,総合倍率,M=MrXM2,呼ぴ総合倍率を跖とすれば,総合倍率の差,M.-M i,=-5----- X100,[,性,5：,TtT 實,1,山,=f,ケ測徽接眼,W-,升,翳*,/,金属対物ミ,クロメータ,測微接眼レ,ンズ,オプチカル,ベンチ,±10%,1 ..一一一…L.ーー:—」,1,?憑燧,ュ比処次/ 1,いンズ袈台ノ中做火,濺嚴レンK義蠣,迫,“ンスザ、! 7.,口万二ダレ以ノすなた业,/レンズ無吿,4,B 0652-1973,5.表不,5.1 測定器の本体には,つぎの事項を表示する,(1)測……
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